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規格型號：EVO 10
制?造?廠：德國蔡司
應用范圍：材料微觀組織及斷口形貌、元素種類含量分析
參數范圍：
分辨率：高真空二次電子像3nm、低真空二次電子像 4nm；
放大倍率：7~1000000倍；
加速電壓：200V~30kV;
電子束流：0.5pA ~5μA;
主要附件：EDAX? ELECT? PLUS能譜儀
能量分辨率：127 ev;
探測器面積：30mm2
